ด้วยการมาถึงของยุคอัจฉริยะการวิจัยและการประยุกต์ใช้เซ็นเซอร์อัจฉริยะต่าง ๆ ได้รับการเน้นมากขึ้นเรื่อย ๆ เซ็นเซอร์อัจฉริยะยังมีความสามารถในการประมวลผลข้อมูลที่หลากหลายบนพื้นฐานของเซ็นเซอร์แบบดั้งเดิมและสามารถให้ฟังก์ชั่นที่ครอบคลุมมากขึ้น
บทความนี้แนะนำสถานะการวิจัยในปัจจุบันของอุณหภูมิความดันความดันความเฉื่อยชีวเคมีและเซ็นเซอร์ RFID และบทบาทสำคัญในการอัพเกรดอุตสาหกรรมและการประยุกต์ใช้นวัตกรรมเช่น Internet of Things (IoT), Virtual Reality (VR), หุ่นยนต์, การดูแลสุขภาพ, การดูแลสุขภาพ, การดูแลสุขภาพ, การดูแลสุขภาพ, การดูแลสุขภาพ, การดูแลสุขภาพ ฯลฯ และตั้งตารอแนวโน้มการพัฒนาในอนาคตของเซ็นเซอร์อัจฉริยะ
เซ็นเซอร์อัจฉริยะ (เซ็นเซอร์อัจฉริยะ) หมายถึงเซ็นเซอร์พร้อมการตรวจจับข้อมูลการประมวลผลข้อมูลหน่วยความจำข้อมูลการคิดเชิงตรรกะและฟังก์ชั่นการตัดสิน
เมื่อเทียบกับเซ็นเซอร์แบบดั้งเดิมที่ให้สัญญาณแรงดันไฟฟ้าแบบอะนาล็อกที่กำหนดปริมาณปริมาณทางกายภาพที่วัดได้เซ็นเซอร์อัจฉริยะใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีการรวมและเทคโนโลยีไมโครโปรเซสเซอร์อย่างเต็มที่การตั้งค่าการรับรู้การประมวลผลข้อมูลการสื่อสารในหนึ่งเดียว ของข้อมูลที่เผยแพร่ในรูปแบบดิจิตอล
ตั้งแต่ NASA (NASA) เสนอแนวคิดของเซ็นเซอร์อัจฉริยะในปี 1980 หลังจากการพัฒนามานานหลายทศวรรษเซ็นเซอร์อัจฉริยะได้กลายเป็นทิศทางการพัฒนาที่สำคัญของเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ซึ่งเป็นตัวแทนของความสามารถในการวิจัยทางอุตสาหกรรมและเทคโนโลยีของประเทศ
ขับเคลื่อนโดยยุคอัจฉริยะในปัจจุบันความสำคัญของเซ็นเซอร์ได้กลายเป็นที่โดดเด่นมากขึ้นไม่เพียง แต่ใน "Made in China 2025", "กลยุทธ์ไฮเทคของเยอรมนี 2020" และสหภาพยุโรป, สหรัฐอเมริกา, เกาหลีใต้, สิงคโปร์และอื่น ๆ . เพื่อโปรโมตเมืองอัจฉริยะและกลยุทธ์อื่น ๆ เพื่อมีบทบาทสนับสนุนที่สำคัญ แต่ยังอยู่ใน Internet of Things (IoT), Virtual Reality (VR), หุ่นยนต์, บ้านอัจฉริยะ, รถยนต์ที่ขับเคลื่อนด้วยตนเองและการพัฒนาอุตสาหกรรมอื่น ๆ บทบาทสำคัญ
ระบบการวัดและการควบคุมที่มีประสิทธิภาพสูงและมีความน่าเชื่อถือสูงระบบการวัดและการควบคุมและการเพิ่มขึ้นและการพัฒนาของอินเทอร์เน็ตของสิ่งต่าง ๆ บนพื้นฐานของเทคโนโลยีการระบุความถี่วิทยุมากขึ้นเน้นความสำคัญของเซ็นเซอร์อัจฉริยะที่มีการรับรู้ความสามารถทางปัญญา การพัฒนาความเร่งด่วน
ด้วยการพัฒนาเทคโนโลยี MEMS ที่เข้ากันได้กับ CMOS การพัฒนาเซ็นเซอร์อัจฉริยะขนาดเล็กได้รับการสนับสนุนทางเทคนิคที่แข็งแกร่งอุตสาหกรรมเซ็นเซอร์อัจฉริยะกำลังเผชิญกับโอกาสในการพัฒนาทางประวัติศาสตร์ที่สำคัญมาก
บทความนี้สรุปสถานะการพัฒนาของเทคโนโลยีเซ็นเซอร์อัจฉริยะประเภทต่าง ๆ และแอพพลิเคชั่นและทำให้เกิดแนวโน้มเกี่ยวกับแนวโน้มการพัฒนาในอนาคต
1 เซ็นเซอร์อัจฉริยะที่อุดมสมบูรณ์และหลากหลายนั้น
เพื่อตอบสนองความต้องการของแอพพลิเคชั่นอัจฉริยะที่หลากหลายประเภทเซ็นเซอร์มีความหลากหลายเช่น: เซ็นเซอร์สิ่งแวดล้อมเซ็นเซอร์เฉื่อยเซ็นเซอร์อะนาล็อกเซ็นเซอร์แม่เหล็ก, ไบโอเซนเซอร์, เซ็นเซอร์อินฟราเรด, เซ็นเซอร์การสั่นสะเทือน, เซ็นเซอร์ความดัน, เซ็นเซอร์อัลตร้าโซนิกและอื่น ๆ
ในหมู่พวกเขาเซ็นเซอร์ต่อไปนี้มักใช้กันมากขึ้น
เซ็นเซอร์สิ่งแวดล้อมส่วนใหญ่เซ็นเซอร์ก๊าซเซ็นเซอร์ความดันบารอมิเตอร์เซ็นเซอร์อุณหภูมิเซ็นเซอร์ความชื้นและอื่น ๆเซ็นเซอร์ก๊าซสามารถนำไปใช้กับเครื่องฟอกอากาศจอภาพ DUI เครื่องตรวจจับฟอร์มาลดีไฮด์และก๊าซพิษอื่น ๆ ในการตกแต่งบ้านเช่นเดียวกับอุปกรณ์ตรวจจับสำหรับก๊าซไอเสียอุตสาหกรรม ในขณะที่ผู้คนให้ความสนใจกับปัญหาสิ่งแวดล้อมความสำคัญของเซ็นเซอร์ด้านสิ่งแวดล้อมกำลังโดดเด่นมากขึ้นเรื่อย ๆ และมีพื้นที่มากมายสำหรับการพัฒนาในอนาคต
เซ็นเซอร์เฉื่อยส่วนใหญ่ใช้ในผลิตภัณฑ์ที่สวมใส่ได้เช่นกำไลอัจฉริยะนาฬิกาอัจฉริยะหมวกกันน็อก VR และอื่น ๆเซ็นเซอร์เฉื่อยใช้ในการตรวจจับการติดตามและการระบุการเคลื่อนไหวแจ้งผู้สวมใส่จำนวนการออกกำลังกายแคลอรี่ที่บริโภคและผลของการออกกำลังกายในวันนั้น
เซ็นเซอร์แม่เหล็กซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในเครื่องใช้ในครัวเรือนเช่นเครื่องชงกาแฟเครื่องทำน้ำอุ่นเครื่องปรับอากาศ ฯลฯ ใช้เพื่อตรวจสอบว่ามีการหมุนมุมเท่าใดหรือมีการเดินทางมากแค่ไหนและมักจะแสดงบนแผงควบคุม นอกจากนี้เซ็นเซอร์แม่เหล็กยังใช้ในแม่เหล็กประตูและแม่เหล็กหน้าต่าง ฯลฯ ความฉลาดและความแม่นยำของหุ่นยนต์ยังต้องใช้เซ็นเซอร์แม่เหล็กเพื่อรองรับ
เซ็นเซอร์อะนาล็อกซึ่งส่วนใหญ่ใช้ในอุปกรณ์การแพทย์อัจฉริยะสามารถใช้เป็นอินพุตสำหรับสัญญาณเช่นการเต้นของหัวใจและ electrocardiograms และแสดงภาพผลลัพธ์ของข้อมูลสุขภาพเพื่อให้ผู้ใช้สามารถเข้าใจข้อมูลสุขภาพและการออกกำลังกายมือแรกของพวกเขา
เซ็นเซอร์อินฟราเรดมักใช้ในกล้องอินฟราเรดหุ่นยนต์กวาดและบ้านอัจฉริยะอื่น ๆ
2 ความคืบหน้าของการวิจัยทางเทคนิคเกี่ยวกับเซ็นเซอร์อัจฉริยะ
เซ็นเซอร์อัจฉริยะอย่างแท้จริงควรมีฟังก์ชั่นดังต่อไปนี้:
1) การสอบเทียบตนเองการสอบเทียบตนเองและฟังก์ชั่นการชดเชยอัตโนมัติ
2) การรวบรวมข้อมูลอัตโนมัติการตัดสินเชิงตรรกะและฟังก์ชั่นการประมวลผลข้อมูล
3) ฟังก์ชั่นการปรับตัวเองและการปรับตัวด้วยตนเอง
(4) ระดับการจัดเก็บข้อมูลการระบุและฟังก์ชั่นการประมวลผลข้อมูล
5) การสื่อสารสองทางเอาต์พุตดิจิตอลมาตรฐานหรือฟังก์ชั่นเอาต์พุตสัญลักษณ์
(6) การตัดสินอัลกอริทึมการตัดสินใจและฟังก์ชั่นการประมวลผล
ต่อไปนี้เป็นตัวอย่างของอุณหภูมิที่ใช้กันทั่วไปความดันความเฉื่อยเซ็นเซอร์ชีวเคมีและ RFID เพื่อแนะนำความคืบหน้าการวิจัยของเทคโนโลยีการตรวจจับอัจฉริยะ
2.1 เซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะ
การพัฒนาเซ็นเซอร์อุณหภูมิได้ผ่านไปแล้วสามขั้นตอน: เซ็นเซอร์อุณหภูมิแบบไม่ต่อเนื่องแบบดั้งเดิมเซ็นเซอร์อุณหภูมิแบบอะนาล็อกและเซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะโดยรวม
ในศตวรรษที่ 21 เซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะกำลังเคลื่อนไปสู่ความแม่นยำสูง, มาตรฐานอเนกประสงค์, มาตรฐานบัส, ความน่าเชื่อถือและความปลอดภัยสูง, การพัฒนาเซ็นเซอร์เสมือนจริงและเซ็นเซอร์เครือข่าย, การพัฒนาระบบการวัดอุณหภูมิเสาหินและทิศทางอื่น ๆ ของการพัฒนาอย่างรวดเร็ว
เซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะในปัจจุบันมีเซ็นเซอร์อุณหภูมิตัวแปลง A/D ตัวประมวลผลสัญญาณหน่วยความจำและวงจรอินเตอร์เฟสผลิตภัณฑ์บางอย่างยังมีมัลติเพล็กเซอร์ตัวควบคุมกลางที่เก็บข้อมูลการเข้าถึงแบบสุ่มและหน่วยความจำแบบอ่านอย่างเดียว
เซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะนั้นมีความสามารถในการส่งออกข้อมูลอุณหภูมิและปริมาณการควบคุมอุณหภูมิที่เกี่ยวข้องซึ่งปรับให้เข้ากับไมโครคอนโทรลเลอร์ที่หลากหลายและขึ้นอยู่กับฮาร์ดแวร์ผ่านซอฟต์แวร์เพื่อให้ได้ฟังก์ชั่นการทดสอบระดับความฉลาดขึ้นอยู่กับระดับ ของการพัฒนาซอฟต์แวร์
(1) ปรับปรุงความแม่นยำและความละเอียดของการวัด
เซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะที่เร็วที่สุดเริ่มต้นในช่วงกลาง -1990 sโดยใช้ 8- บิตตัวแปลง A/D ความแม่นยำในการวัดอุณหภูมิต่ำความละเอียดสามารถถึง 1 องศาเท่านั้น
ในปัจจุบันต่างประเทศได้เปิดตัวเซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะที่มีความแม่นยำสูงและมีความละเอียดสูงโดยใช้ตัวแปลง A/D บิต 9 ~ 12- บิต A/D ตัวแปลงความละเอียดสามารถเข้าถึง 0. 5 ~ {{6 }}. 625 องศา โดย US Dallas Semiconductor Corporation DS 1624- ประเภทเซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะความละเอียดสูงที่สามารถส่งออก {{1 0}} บิตข้อมูลไบนารีบิตความละเอียดสูงถึง 0 ความแม่นยำในการวัดอุณหภูมิ± 0.2 องศา
เพื่อปรับปรุงอัตราการแปลงของเซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะหลายช่องทางนอกจากนี้ยังมีชิปโดยใช้ตัวแปลง A/D ประมาณความเร็วสูงต่อเนื่อง Ad7817 Type 5- เซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะช่องสัญญาณตัวอย่างเช่นมันคือเซ็นเซอร์ท้องถิ่นแต่ละครั้งเวลาแปลงเซ็นเซอร์ระยะไกลเพียง 27 มิลลิวินาที 9 มิลลิวินาทีตามลำดับ
ในแง่ของการวัดอุณหภูมิที่มีความแม่นยำสูงนักวิชาการบางคนได้ออกแบบเซ็นเซอร์อุณหภูมิดิจิตอลที่มีประสิทธิภาพสูงซึ่งประกอบด้วย Resonator ส้อมการปรับจูนควอตซ์วงจรอินเตอร์เฟสดิจิตอลและอัลกอริทึมการควบคุมการรีเซ็ตเซ็นเซอร์ตามอาร์เรย์ประตูที่ตั้งโปรแกรมได้ ความไวของเซ็นเซอร์สามารถเข้าถึงจำนวน 10 -6 องศานั่นคือความละเอียดการวัดอุณหภูมิของ 0. 0 01 องศาเวลาตอบสนอง 1 วินาทีและความแม่นยำของการวัดคือ 0.01 องศา
(2) ฟังก์ชั่นการทดสอบขั้นสูง
ฟังก์ชั่นการทดสอบเซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะใหม่ได้รับการปรับปรุงอย่างต่อเนื่อง เซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะมีโหมดการทำงานที่หลากหลายให้เลือกรวมถึงโหมดการแปลงเดี่ยวโหมดการแปลงอย่างต่อเนื่องโหมดสแตนด์บายและบางตัวก็เพิ่มโหมดการขยายขีด จำกัด อุณหภูมิต่ำ
สำหรับเซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะบางตัวโฮสต์ (ไมโครโปรเซสเซอร์ภายนอกหรือไมโครคอนโทรลเลอร์) สามารถตั้งค่าผ่านการลงทะเบียนที่สอดคล้องกันของอัตราการแปลง A/D ความละเอียดและเวลาการแปลงสูงสุด
นอกจากนี้เซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะกำลังพัฒนาจากช่องทางเดียวไปยังทิศทางหลายช่องทางซึ่งสร้างเงื่อนไขที่ดีสำหรับการพัฒนาของการวัดอุณหภูมิและระบบควบคุมหลายช่องทาง
(3) มาตรฐานและมาตรฐานของเทคโนโลยีบัส
ในปัจจุบันเทคโนโลยีบัสเซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะได้รับการมาตรฐานและเป็นมาตรฐานรถบัสที่ใช้เป็นหลักสายเดียว (-wire) บัส i 2 C บัส SMBUS บัสและรถบัส SPI
(4) การออกแบบความน่าเชื่อถือและความปลอดภัย
เพื่อหลีกเลี่ยงการกระทำที่ผิดพลาดเมื่อระบบควบคุมอุณหภูมิถูกรบกวนจากสัญญาณรบกวนภายในของเซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะบางตัวเคาน์เตอร์คิวข้อผิดพลาดที่ตั้งโปรแกรมได้จะถูกตั้งค่าโดยเฉพาะเพื่อตั้งค่าจำนวนครั้งที่ค่าอุณหภูมิที่วัดได้เกินกว่า ขีด จำกัด บนและล่าง พอร์ตขัดจังหวะสามารถเรียกใช้เฉพาะเมื่อจำนวนครั้งที่อุณหภูมิที่วัดได้อย่างต่อเนื่องเกินขีด จำกัด บนหรือต่ำกว่าขีด จำกัด ล่างถึงจำนวนครั้งที่กำหนดซึ่งหลีกเลี่ยงอิทธิพลของการรบกวนเสียงรบกวนเป็นครั้งคราวในระบบควบคุมอุณหภูมิ
เพื่อป้องกันความเสียหายต่อชิปเนื่องจากการปล่อยไฟฟ้าสถิตของมนุษย์เซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะบางตัวได้เพิ่มวงจรป้องกันไฟฟ้าสถิตโดยทั่วไปสามารถทนต่อแรงดันไฟฟ้าคายประจุไฟฟ้าสถิต 1 ~ 4 kV
ตัวอย่างเช่นอินเทอร์เฟซอนุกรมเซนเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะ TCN75, สัญญาณอินเทอร์พุทสัญญาณอินเตอร์รัปต์/การเปรียบเทียบและอินพุตที่อยู่สามารถทนต่อแรงดันไฟฟ้ากระแสไฟฟ้าสถิตได้ 1 kV เซ็นเซอร์อุณหภูมิอัจฉริยะ LM83 สามารถทนต่อแรงดันไฟฟ้ากระแสไฟฟ้าสถิต 4 kV
2.2 Smart Pressure Sensors
เซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะเป็นการรวมกันของไมโครโปรเซสเซอร์และเซ็นเซอร์ความดันดังนั้นเส้นทางการใช้งานของพวกเขาสามารถแบ่งออกเป็น: เซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะที่ไม่รวมตัวกันเซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะอัจฉริยะแบบบูรณาการและเซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะไฮบริด
เซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะที่ไม่รวมเป็นระบบเซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะที่รวมเซ็นเซอร์ความดันแบบดั้งเดิมวงจรการปรับสภาพสัญญาณและไมโครโปรเซสเซอร์กับอินเทอร์เฟซบัสดิจิตอลเข้ากับระบบเดียว
เซ็นเซอร์ความดันที่ไม่ได้รวมเข้าด้วยกันนี้เป็นระบบเซ็นเซอร์ความดันทั่วไปที่มีการเชื่อมต่อไมโครโปรเซสเซอร์เพิ่มเติม ดังนั้นจึงเป็นหนึ่งในวิธีที่เร็วที่สุดและวิธีการตระหนักถึงระบบเซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะ
เซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะแบบบูรณาการเป็นการรวมเสาหินขององค์ประกอบที่ไวต่อแรงดันกับการประมวลผลสัญญาณการสอบเทียบการชดเชยไมโครคอนโทรลเลอร์ ฯลฯ ส่วนใหญ่ใช้เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ (MEMS) และเทคโนโลยีกระบวนการรวมวงจรขนาดใหญ่และใช้ประโยชน์จากซิลิคอน เพื่อสร้างองค์ประกอบที่ละเอียดอ่อนวงจรการปรับสภาพสัญญาณและหน่วยไมโครโปรเซสเซอร์และรวมเข้ากับชิปเดียว
ด้วยการพัฒนาอย่างรวดเร็วของเทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์และการประยุกต์ใช้ไมโครนาโนเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะที่เกิดขึ้นมีลักษณะของการย่อขนาดการรวมโครงสร้างความแม่นยำสูงมัลติฟังก์ชั่นอาเรย์การใช้ดิจิตอลเต็มรูปแบบใช้งานง่าย บน.
เซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะไฮบริดเป็นไปตามความต้องการและความเป็นไปได้ของระบบของการเชื่อมโยงแบบบูรณาการต่าง ๆ เช่นหน่วยที่มีความละเอียดอ่อนวงจรการปรับสภาพสัญญาณหน่วยไมโครโปรเซสเซอร์อินเตอร์เฟซบัสดิจิตอลในชุดค่าผสมที่แตกต่างกันใน 2 ~ 3 ชิปและบรรจุในเชลล์ .
การบูรณาการไฮบริดเพื่อให้ได้สติปัญญาเป็นเส้นทางอัจฉริยะที่เหมาะสมกับการพัฒนาเทคโนโลยีในปัจจุบัน ในระบบเซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะไมโครโปรเซสเซอร์สามารถตระหนักถึงการควบคุมซอฟต์แวร์ของเซ็นเซอร์ตามโปรแกรมที่กำหนดการเปลี่ยนเซ็นเซอร์จากฟังก์ชั่นเดียวเป็นมัลติฟังก์ชั่น เซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะโดยทั่วไปมีฟังก์ชั่นพื้นฐานดังต่อไปนี้
(1) ฟังก์ชั่นการประมวลผลข้อมูลเซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะไม่เพียง แต่วัดพารามิเตอร์ที่วัดได้ แต่ยังเป็นไปตามพารามิเตอร์ที่วัดได้ที่รู้จักสามารถเป็นศูนย์โดยอัตโนมัติสมดุลโดยอัตโนมัติชดเชยโดยอัตโนมัติและอื่น ๆ
(2) ฟังก์ชั่นการวินิจฉัยอัตโนมัตินี่คือฟังก์ชั่นหลักของเซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะเซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะผ่านซอฟต์แวร์การวินิจฉัยข้อผิดพลาดและซอฟต์แวร์การทดสอบตนเองเซ็นเซอร์อัตโนมัติและสถานะระบบสำหรับการตรวจจับปกติและผิดปกติการทดสอบการตรวจหาข้อผิดพลาดในเวลาที่เหมาะสมเพื่อช่วยในการวินิจฉัยสาเหตุ จากความล้มเหลวสถานที่ตั้งและเพื่อให้คำแนะนำการปฏิบัติงาน
(3) ฟังก์ชั่นการกำหนดค่าซอฟต์แวร์เซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะเนื่องจากการใช้ไมโครโปรเซสเซอร์ดังนั้นจึงไม่เพียง แต่ส่วนประกอบฮาร์ดแวร์ที่จำเป็นเช่นการตรวจจับการขยาย A / D, D / A, อินเทอร์เฟซการสื่อสาร ฯลฯ แต่ยังรวมถึงทรัพยากรซอฟต์แวร์สำหรับการควบคุมและการประมวลผลของ ข้อมูล. ในเซ็นเซอร์ความดันอัจฉริยะมีการตั้งค่าฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์แบบหลายรูปแบบเพื่อให้ผู้ใช้สามารถส่งคำสั่งผ่านไมโครโปรเซสเซอร์เพื่อให้ได้ฟังก์ชั่นที่แตกต่างกันซึ่งจะเพิ่มความยืดหยุ่นและความน่าเชื่อถือของเซ็นเซอร์
2.3 เซ็นเซอร์เฉื่อยอัจฉริยะ
เซ็นเซอร์เฉื่อย, เซ็นเซอร์ MEMS ที่ใช้กันอย่างแพร่หลายมากที่สุด ได้แก่ เครื่องเร่งความเร็ว, การหมุนรอบและเซ็นเซอร์การวางแนวเทคโนโลยี MEMS มีข้อได้เปรียบที่เป็นเอกลักษณ์ของเซ็นเซอร์เฉื่อยขนาดเล็กและลดต้นทุน
โมดูลการวัดแรงเฉื่อยของวันนี้ (IMU) สามารถรวม accelerometer สามแกน, ไจโรสโคปสามแกนและ magnetometer สามแกนในขนาด 10 มม. x 10 มม. x 4 มม. ที่ราคาน้อยกว่าดอลลาร์ โมดูลการวัดเฉื่อยนี้สามารถนำไปใช้กับสมาร์ทโฟนและอุปกรณ์ที่สวมใส่ได้เพื่อรับรู้การเล่นกีฬาและสุขภาพรวมถึงการตรวจสอบการเดินการนับขั้นตอนการตรวจจับการตกการตรวจสอบการนอนหลับการนำทางในร่ม ฯลฯ รวมถึงฟังก์ชั่นความบันเทิงเช่นการจดจำท่าทางและการตรวจจับทิศทาง